類型

PCG550 Tungsten

PCG552 Nickel

PCG554 ceramic coated

測量范圍

5×10-5 … 1500 

5×10-5 … 1500 

5×10-5 … 1500 

精度

5×10-4 … 1×10-3 毫巴 (N2)

% of reading

±50

±50

±50

1×10-3 … 100 毫巴 (N2)

% of reading

±15

±15

±15

100 … 950 毫巴

% of reading

±5

±5

±5

950 … 1050 毫巴

% of reading

±2.5

±2.5

±2.5

可重復性

1×10-3 … 1100 毫巴 (N2)

% of reading

±2

±2

±2

容許壓力

bar (absolute)

≤5

≤5

≤5

壓力，**大

bar (absolute)

≥10

≥10

≥10

容許溫度

運行（環境）

°C

+10 … +50

+10 … +50

+10 … +50

貯存

°C

-20 … +65

-20 … +65

-20 … +65

在法蘭處烘烤

°C

≤80

≤80

≤80

在長管法蘭處烘烤

°C

≤250

≤250

≤250

電源電壓

V (dc)

+15 … +30

+15 … +30

+15 … +30

功耗

無現場總線

W

≤2.5

≤2.5

≤2.5

DeviceNet™

W

≤3

≤3

≤3

Profibus

W

≤3

≤3

≤3

輸出信號模擬 3PCx-0xx-xxx0

V

0 … +10.23

0 … +10.23

0 … +10.23

輸出信號模擬 3PCx-0xx-xxx1

V

0 … +8.68

0 … +8.68

0 … +8.68

輸出信號模擬 3PCx-0xx-xxx2

V

0 … +5.659

0 … +5.659

0 … +5.659

輸出信號模擬 3PCx-0xx-xxx3

V

0 … +9.05

0 … +9.05

0 … +9.05

測量范圍 3PCx-0xx-xxx0

V

+0.61 … +10.23

+0.61 … +10.23

+0.61 … +10.23

測量范圍 3PCx-0xx-xxx1

V

+1.2 … +8.68

+1.2 … +8.68

+1.2 … +8.68

測量范圍 3PCx-0xx-xxx2

V

+0.375 … +5.659

+0.375 … +5.659

+0.375 … +5.659

測量范圍 3PCx-0xx-xxx3

V

+1.57 … +9.05

+1.57 … +9.05

+1.57 … +9.05

電壓與壓強

3PCx-0xx-xxx0

volts per decade

1.286

1.286

1.286

3PCx-0xx-xxx1 / -xxx2 / -xxx3

volts per decade

1

1

1

負載電阻

kΩ

>10

>10

>10

設定點繼電器

設定點數量

2

2

2

范圍 (N2)

mbar

5×10-5 … 1000

5×10-5 … 1000

5×10-5 … 1000

繼電器觸點

n.o., potential free

n.o., potential free

n.o., potential free

滯后

% of threshold

10

10

10

觸點額定固態繼電器

≤30

≤30

≤30

觸點額定機械繼電器

≤30

≤30

≤30

轉換時間

ms

≤30

≤30

≤30

接口（數字）

RS232C

RS232C

RS232C

電氣連接

3PCx-0xx-x0xx

FCC, 8-pin

FCC, 8-pin

FCC, 8-pin

3PCx-0xx-x1xx

D-Sub, 9-pin, male

D-Sub, 9-pin, male

D-Sub, 9-pin, male

3PCx-0xx-x2xx

D-Sub, 15-pin HD, male

D-Sub, 15-pin HD, male

D-Sub, 15-pin HD, male

3PCx-0xx-x4xx

D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male

D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male

D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male

電纜長度

m (ft.)

≤100 (≤330)

≤100 (≤330)

≤100 (≤330)

RS232C 運行

m (ft.)

≤30 (≤100)

≤30 (≤100)

≤30 (≤100)

暴露于真空的材料

W, Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass

Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass

Al2O3, stainless steel

內部容積

DN 16 ISO-KF

cm3

4.7

4.7

4.7

DN 16 ISO-KF 長管

cm3

14.5

14.5

14.5

DN 16 CF-F

cm3

8

8

8

DN 16 CF-R 長管

cm3

14

14

14

DN 25 ISO-KF，4 VCR

cm3

5.5

5.5

5.5

8 VCR

cm3

7

7

7

1/8'' NPT，7/16-20 UNF

cm3

5.2

5.2

5.2

表面貼裝 29 毫米/1.15 英寸

cm3

4.9

4.9

4.9

4 VCR 90°

cm3

7.9

7.9

7.9

重量

無現場總線接口

g

115 … 130

115 … 130

115 … 130

帶現場總線接口

g

230 … 250

230 … 250

230 … 250

保護等級

IP 40

IP 40

IP 40

標準

CE 合規

EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010

EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010

EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010

ETL 認證

UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1

UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1

UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1

DeviceNet™

協議

DeviceNet™, group 2 slave only

DeviceNet™, group 2 slave only

DeviceNet™, group 2 slave only

數據率開關

kBaud

125, 250, 500 or network programmable

125, 250, 500 or network programmable

125, 250, 500 or network programmable

電纜長度 125 kbps

m (ft.)

500 (1650)

500 (1650)

500 (1650)

電纜長度 250 kbps

m (ft.)

250 (825)

250 (825)

250 (825)

電纜長度 500 kbps

m (ft.)

100 (330)

100 (330)

100 (330)

MAC ID

2 switches (address 00 - 63) or network programmable

2 switches (address 00 - 63) or network programmable

2 switches (address 00 - 63) or network programmable

數字功能

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error

技術規格

DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

設備類型

''CG'' for combination gauge

''CG'' for combination gauge

''CG'' for combination gauge

I / O 從屬傳訊

polling only

polling only

polling only

DeviceNet™ 的電源電壓 3PI6- / 3PI7- / 3PI8-0xx-xxxx

V (dc)

+15 … +30

+15 … +30

+15 … +30

功耗 3PI6- / 3PI7- / 3PI8-0xx-xxxx

W

≤3

≤3

≤3

DeviceNet 連接器

Micro-Style, 5-pin, male

Micro-Style, 5-pin, male

Micro-Style, 5-pin, male

Profibus DP

波特率

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

地址

2 switches (address 00 - 127) or network programmable

2 switches (address 00 - 127) or network programmable

2 switches (address 00 - 127) or network programmable

數字功能

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error

Profibus DP 連接器

D-Sub, 9-pin, female

D-Sub, 9-pin, female

D-Sub, 9-pin, female

RS485C

波特率

kBaud

9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6

9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6

9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6

地址

2 switches (address 00 - 255)

2 switches (address 00 - 255)

2 switches (address 00 - 255)

數字功能

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error

RS485 連接器

D-Sub, 15-pin HD, male

D-Sub, 15-pin HD, male

D-Sub, 15-pin HD, male

EtherCAT

協議 EtherCAT

protocol specialized for EtherCAT

protocol specialized for EtherCAT

protocol specialized for EtherCAT

通訊標準

ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"

ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"

ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"

節點地址

Explicit Device Identification

Explicit Device Identification

Explicit Device Identification

物理層

100BASE-Tx (IEEE 802.3)

100BASE-Tx (IEEE 802.3)

100BASE-Tx (IEEE 802.3)

EtherCAT 連接器

RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT

RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT

RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT

電纜

shielded Ethernet CAT5e or higher

shielded Ethernet CAT5e or higher

shielded Ethernet CAT5e or higher

電纜長度

m (ft.)

≤100 (330)

≤100 (330)

≤100 (330)

過程數據

Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping

Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping

Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping

郵箱 (CoE)

SDO requests, responses and information

SDO requests, responses and information

SDO requests, responses and information