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益處
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BCG450 可節省成本和工具空間，降低真空測量安裝與設置的復雜性
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10 托以上的壓力測量不受氣體類型限制，能夠對任何氣體混合物提供更為可靠的加載互鎖控制
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皮拉尼聯鎖保護熱絲，防止過早燒毀
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高真空皮拉尼自動調節，減少操作員干預
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大氣壓下的壓差測量消除了大氣壓力變化引起的不確定
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易于更換的傳感元件與板載校準數據確保再現性
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備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
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RoHS 合規
典型應用
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半導體過程、傳輸腔室和加載互鎖真空室的壓力測量
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工業鍍膜
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低真空和超高真空范圍內系統的一般真空測量和控制
規格
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類型
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BCG450
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測量范圍
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5×10-10 … 1500
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精度
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10-8 … 50 毫巴
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% of reading
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±15
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50 … 950 毫巴
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% of reading
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±5
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950 … 1050 毫巴
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% of reading
|
±2.5
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可重復性
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10-8 … 10-2 毫巴
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% of reading
|
5
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熱離子發射
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mbar
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2×10-2 (high)
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（可選高/低，通過 RS232 / 現場總線）
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mbar
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8×10-3 (low)
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除氣 (1)
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p < 7.2 × 10-6
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mbar
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electron bombardment, max. 3 min
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壓力，更大
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bar (absolute)
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5
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溫度
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運行（環境）
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°C
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0 … +50
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貯存
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°C
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-20 … +70
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在法蘭處烘烤
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°C
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80
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移除烘烤電子設備
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°C
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150
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電源電壓
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20 … 28
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輸出信號模擬
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輸出信號
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V
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0 … 10.3
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測量范圍輸出
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V
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0.774 … 10.3
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電壓與壓強之間的關系
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volts per decade
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0.75
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錯誤信號
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V
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0.3 / 0.5
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更小負載
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kΩ
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10
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接口（數字）(2)
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RS232C
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連接器
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|
D-Sub, 15-pin, male
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電纜長度，**大 (3)
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m (ft.)
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100 (330)
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暴露于真空的材料
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Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass
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內部容積 KF / CF
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cm3 (in.3)
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24 (1.46) / 34 (2.1)
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重量 KF / CF
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g
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285 / 550
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保護等級
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IP30
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DeviceNet™
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協議
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DeviceNet™, group 2 slave only
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數據率開關
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kBaud
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125, 250, 500 or network programmable
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電纜長度 125 kbps
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m (ft.)
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500 (1650)
|
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電纜長度 250 kbps
|
m (ft.)
|
250 (825)
|
|
電纜長度 500 kbps
|
m (ft.)
|
100 (330)
|
|
MAC ID
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2 switches (address 00 - 63) or network programmable
|
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網絡規模
|
|
up to 64 nodes per segment
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|
數字功能
|
|
read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
|
|
模擬功能
|
|
0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
|
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可視通信指示器
|
|
LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
|
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技術規格
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DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
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設備類型
|
|
''CG'' for combination gauge
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I / O 從屬傳訊
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|
polling only
|
|
設定點繼電器： 設定點數量
|
|
2
|
|
設定點繼電器： 范圍
|
mbar
|
1×10-9 … 1400
|
|
設定點繼電器： 繼電器觸點
|
|
n.o., potential free
|
|
設定點繼電器： 滯后
|
% of reading
|
10
|
|
設定點繼電器： 觸點額定值
|
|
60
|
|
設定點繼電器： 連接器
|
|
D-Sub, 15-pin, male
|
|
DeviceNet™ 電源電壓
|
|
11 … 25
|
|
真空計電源電壓
|
|
20 … 28
|
|
DeviceNet™ 連接器
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|
Microstyle, 5-pin
|
|
BCG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器
|
|
D-Sub, 15-pin, male
|
|
Profibus DP
|
|
|
波特率
|
|
9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
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地址
|
|
2 switches (address 00 - 127) or network programmable
|
|
數字功能
|
|
rea, d pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
|
|
模擬功能
|
|
0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
|
|
設定點繼電器： 設定點數量
|
|
2
|
|
設定點繼電器： 范圍
|
mbar
|
1×10-9 … 1400
|
|
設定點繼電器： 繼電器觸點
|
|
n.o., potential free
|
|
設定點繼電器： 滯后
|
% of reading
|
10
|
|
設定點繼電器： 觸點額定值
|
|
60
|
|
Profibus DP 連接器
|
|
D-Sub, 9-pin, female
|
|
BCG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器
|
|
D-Sub, 15-pin, male
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(1) 除氣期間降低精度
(2) 同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器，不允許使用現場總線
(3) 適用于 RS232C 運行 <30m
零件號
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BCG450 |
|
零件號 |
說明 |
|
353-550 |
BCG450 規管 |
|
353-561 |
BCG450 TripleGauge; DN 25 ISO-KF; Baffle |
|
353-551 |
BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R |
|
353-552 |
BCG450 規管 |
|
353-553 |
BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R |
|
353-554 |
BCG450-SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF |
|
353-556 |
BCG450-SP TripleGauge; DN 40 CF-R |
|
353-557 |
BCG450-SD TripleGauge; DN 25 ISO-KF |
|
353-558 |
BCG450-SD TripleGauge; DN 40 CF-R. |
|
353-592 |
BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
|
353-593 |
BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R |
附件
|
BCG450 |
|
零件號 |
說明 |
|
353-511 |
BPG400 24V電源 |
|
353-512 |
Baffle for BPG400 |
|
211-113 |
Centering ring with baffle DN 25 KF |
備件
|
BCG450 |
|
零件號 |
說明 |
|
354-492 |
BCG450 傳感器 |
|
354-493 |
BCG450 Spare measurement systemDN40CF-R. |
|
|
滬公網安備 31010702002032號
