益處

• 復合真空計 – 倒置磁控管與皮拉尼
• 測量范圍廣，從 5 x 10^-9 毫巴到大氣壓
• 不會出現單絲燒毀的現象
• 卓越的點火屬性
• 易于清潔
• FPM 或金屬密封饋入裝置
• 高壓 LED 指示燈
• 對數模擬輸出信號

典型應用

• 高真空壓力監控
• 蒸發系統和濺射系統的基本壓力
• 中高真空范圍內的一般真空測量和控制
  
  
  
  
  
  

  規格

  類型		MPG400 FPM sealed	MPG401 metal-sealed
  測量范圍（空氣，N2）		5 x 10-9 … 1000	5 x 10-9 … 1000
  精度 (N2)
  1 x 10-8 … 100 毫巴	% of reading	≈±30%	≈±30%
  可重復性
  1 x 10-8 … 100 毫巴	% of reading	≈±5%	≈±5%
  安裝定位		any	any
  容許壓力	bar (absolute)	≤10 (limited to inert gases)	≤10 (limited to inert gases)
  容許溫度
  運行（環境）	°C	+5 … +55	+5 … +55
  貯存	°C	–40 … +65	–40 … +65
  烘烤 (1)	°C	150	150
  單絲溫度（皮拉尼）	°C	120	120
  電源電壓
  真空計上	V (dc)	+15 … +30	+15 … +30
  纜線更長的電源裝置 (2)	V (dc)	+16 … +30	+16 … +30
  波紋	V (p-p)	≤1	≤1
  功耗	W	≤2	≤2
  可連接的保險絲	AT	≤1	≤1
  輸出信號（測量信號）
  電壓范圍	V	0 … +10.5	0 … +10.5
  測量范圍	V	+1.82 … +8.6	+1.82 … +8.6
  電壓與壓強		logarithmic, 0.6 volts per decade	logarithmic, 0.6 volts per decade
  錯誤信號
  無電源	V	<0.5	<0.5
  皮拉尼傳感器，單絲斷裂	V	>9.5	>9.5
  輸出電阻	Ω	2 x 10	2 x 10
  更小負載電阻	kΩ	10, short-circuit proof	10, short-circuit proof
  反應時間
  p > 10-6 毫巴	ms	<10	<10
  p = 10-8 毫巴	ms	≈1000	≈1000
  識別真空計		85, referenced to supply common	85, referenced to supply common
  狀態
  僅皮拉尼模式	V	0 (low)	0 (low)
  復合皮拉尼 / 冷陰極模式	V	15 … 30 (high)	15 … 30 (high)
  LED	LED green	high voltage on	high voltage on
  電氣連接		FCC 68 appliance connector, 8 poles, female	FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
  傳感器電纜		8 poles plus shielding	8 poles plus shielding
  電纜長度	m	≤50 (8 x 0.14 mm2)	≤50 (8 x 0.14 mm2)
  運行電壓	kV	≤3.3	≤3.3
  運行電流	μA	≤500	≤500
  暴露于真空的材料		stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W	stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
  內部容積	cm3	≈20	≈20
  重量
  DN 25 ISO-KF	g	≈700	≈730
  DN 40 ISO-KF	g	≈720	≈750
  DN 40 CF-F	g	≈980	≈1010
  保護類別		IP 40	IP 40
  標準
  CE 合規		EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1	EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

  1) 沒有電子和磁遮蔽。

  2) 必須根據傳感器電纜的長度按比例增加電源的**低電壓。